半导体行业
作者： 发布时间：2026-01-22 17:07:19 浏览量：
光学检测
用于A0I自动光学检测行业,采用直线电机运送被检测的物料,可以提高物料的检测速度,提供生产效率，与其它的转动方式相比虽然价格高,但是带来更多的价值
单根直线电机轴,驱动被检测料
速度高达2M/S，检测时间短
加速度15G,响应快
晶圆打标
用于激光打标行业,晶圆的激光打标为精度的要求高、对单片晶圆的打标时间要求越短越好,要求平台的定位精度高、速度快,所以采用直线电机是最合适的选择
xY两轴都是用直线电机
行程300x300mm,最大可打8英寸晶圆
定位精度士3μm
加速度10g
用于LED行业LED晶圆片的激光切割。要求加工平台的重复定位精度和定位精度高,速度平稳,必须使用直线电机驱动
XY两轴使用直线电机,旋转轴使用纳米电机用于转加工角度
定位精度±1Hm
旋转轴定位精度1/1000°
可切割3-5英寸晶圆
